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2025-05-23 17:09:33


晶圓尺寸:4~12寸 25pcs*1 or 2 cassette

槽體:3酸/3水 or 4酸/4水 (可客制) 

化學(xué)循環(huán)/加熱控制/濃度控制/流量控制

酸/堿/有機..排風(fēng)及排放分開排 

化學(xué)藥液:CCSS or LCSS 供應(yīng) /自動混酸系統(tǒng)

可選回收或排放

配置:CO2滅火裝置/去靜電產(chǎn)生器/攝像頭

軟件控制:PC+PLC+GUI控制,可支持SECS GEM/EAP/FDS


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